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Les pompes turbomoléculaires s’appuient sur la technologie des membranes pour les opérations d’amorçages

Les pompes turbomoléculaires ont besoin d’un vide poussé pour démarrer et fonctionner efficacement. Pour ce faire, elles ont souvent recours à des pompes amorçantes reposant sur la technologie des pompes à membrane.

Les systèmes de pompes turbomoléculaires sont largement utilisés dans diverses applications, notamment la spectrométrie de masse, la détection de fuites et la fabrication de semi-conducteurs. Ces systèmes complexes nécessitent d’obtenir des vides extrêmement poussés pour fonctionner efficacement et ils s’appuient sur des pompes à membrane pour atteindre ces niveaux. La technologie des pompes à membrane présente plusieurs avantages par rapport à d’autres types de pompes au sein de ces applications.

Comment fonctionnent les pompes turbomoléculaires ?

Les pompes turbomoléculaires utilisent des pales de turbines métalliques en rotation pour déplacer des molécules de gaz dans une chambre. Les molécules s’écoulent dans l’orifice d’entrée de la pompe où les pales les poussent plus loin dans la chambre. Elles sont ensuite comprimées avant d’être évacuées par un orifice d’échappement. Les pompes turbomoléculaires doivent fonctionner avec un vide poussé pour être efficaces. Elles ont souvent recours à des pompes d’amorçage, parfois appelées pompes primaires, pour créer ce vide. Un vide aussi faible est nécessaire, car les pales se déplacent si rapidement qu’elles ne sont pas en mesure de supporter le frottement de l’air à la pression atmosphérique.

 

Les pompes turbomoléculaires sont communes à une variété d’applications. Elles constituent un élément essentiel de la spectrométrie de masse, où elles contribuent à créer des environnements de vide poussé pour garantir la précision des mesures. Elles jouent un rôle similaire dans les microscopes électroniques à balayage, où des atmosphères sous vide poussé sont nécessaires pour l’analyse à fort grossissement. Elles sont également présentes dans les applications de détection des fuites et d’analyse environnementale, ainsi que dans les applications de semi-conducteurs qui nécessitent un vide poussé.

Les pompes à membrane offrent des avantages considérables

Les pompes à membrane sont fréquemment utilisées comme pompes d’amorçage pour générer du vide dans les systèmes turbomoléculaires. Sans un vide suffisamment poussé, les pompes turbomoléculaires ne peuvent pas fonctionner efficacement. Dans certains cas, elles ne pourront pas démarrer du tout. KNF propose des pompes à membrane avec un vide limite pouvant atteindre 0,5 mbar (abs.). Outre le fait qu’elles permettent d’atteindre les niveaux de vide requis, elles présentent plusieurs autres avantages par rapport à d’autres technologies de pompage.

 

Les pompes à membrane présentent un niveau de vide stable, une longue durée de vie et ne nécessitent que peu d’entretien. Elles fonctionnent sans huile, ce qui élimine le risque de contamination croisée avec les fluides pompés.  Les pompes KNF sont disponibles avec des moteurs à courant continu sans balais (BLDC), qui permettent un fonctionnement à vitesse contrôlée et sont paramétrables. Cet aspect est important pour les pompes turbomoléculaires. Elles doivent en effet démarrer très rapidement avant d’être ralenties pour atteindre leur vitesse de fonctionnement. Les pompes à membrane peuvent également être équipées de ballasts à gaz pour les applications où des gaz humides sont présents. Les pompes KNF peuvent être installées et assemblées selon n’importe quelle orientation, avec des options telles que la série N. 84 disponibles pour les solutions portables qui nécessitent des solutions petites et légères.  

Une large gamme de solutions de pompes à membrane

KNF offre une variété de solutions pour les applications de pompes de prévidage. Le N. 952 peut rapidement évacuer une chambre tout en maintenant des performances optimales jusqu’au vide final. Elle peut atteindre un vide maximal de 1,5 mbar (abs.) tout en fournissant un débit maximal de 36 l/min. Elle est disponible dans une variété de configurations et d’options de moteur, y compris des moteurs à réglage numérique.

 

Le N. 813 est également un excellent choix en tant que pompe amorçante, avec un vide maximal de 0,5 mbar (abs.) et un débit maximal de 13 l/min.  Elle assure un transfert de fluide sans contamination, empêchant la contamination par reflux après l’arrêt tout en évitant la contamination du fluide par l’air sortant. Le N. 813 est également disponible avec un moteur adaptable sur mesure, permettant le paramétrage requis pour les applications de vide primaire.

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