概述

涡轮分子泵依靠隔膜技术实现前级真空

涡轮分子泵系统需要在高真空下才能启动和有效运行。它们通常需要通过隔膜泵技术来实现这一目标。

涡轮分子泵系统广泛应用于各种领域，包括质谱分析、泄漏检测和半导体制造。这些复杂的系统需要极高的真空才能有效运行，它们通过隔膜泵来达到这些真空度。在这些应用中，与其他类型的泵相比，隔膜泵技术具有多项优势。

涡轮分子泵如何工作？

涡轮分子泵利用旋转的金属涡轮叶片使气体分子通过一个腔室。分子流入泵的进气口，叶片将它们进一步推向腔体。然后对其进行压缩，再从排气口流出。涡轮分子泵需要在高真空条件下才能有效工作。它们通常依靠粗抽泵（有时称为前级泵）来产生真空。之所以需要如此低的真空度，是因为叶片的运动速度非常快，无法应对大气压下产生的空气摩擦。

涡轮分子泵在各种应用中都很常见。它们是质谱仪器的重要组成部分，有助于创造高真空环境，确保精确测量。它们在扫描电子显微镜中也起着类似的作用，因为在扫描电子显微镜中，也需要高真空的环境来进行高倍率分析。它们还用于泄漏检测和环境分析应用，以及同样需要高真空的半导体应用。

隔膜泵的巨大优势

隔膜泵常常被用作粗抽泵，为涡轮分子系统产生真空。如果没有足够高的真空，涡轮分子泵就无法有效运行。在某些情况下，它们根本无法启动。KNF 提供极限真空低至 0.5 mbar abs. 的隔膜泵。除了能够达到所需的预真空度外，与其他泵技术相比，它们还具有一些额外优势。

隔膜泵的真空度稳定，使用寿命长，维护成本低。它们无油运行，不会发生泵送介质交叉污染的可能。 KNF 泵可配备直流无刷电机 (BLDC)，可控制泵的运行速度，以及调节设置参数。这对于涡轮分子泵来说非常重要，因为这种泵需要快速启动，然后再减速到运行速度。隔膜泵还可配备气镇，用于有湿气的场合。KNF 泵可按任何方向安装和组装，还可选择 N 84 系列等便携式解决方案，以满足体积小、重量轻的要求。