概述

半导体行业: 如果光是洁净还不够

KNF如何为佳能纳米技术公司开发优化的液体传输泵。

半导体行业创造了现代技术的真正奇迹:在难以置信的微小空间内容纳数百万个晶体管,为我们的智能手机、平板电脑、冰箱、汽车等提供计算能力和内存。由于半导体极其微小,其制造为纳米级精度,这让制造工艺极易受到外部影响,如微小的污物颗粒或电离。这就是佳能纳米技术公司(一家世界领先的半导体制造纳米技术的研发公司)选择与KNF合作的原因。他们合作生产了能够应对这些极端需求的液体传输泵,从而实现了这一目标。

半导体行业等级的流体管理

在微电子领域,佳能纳米技术公司是一家为半导体制造提供尖端纳米技术的领先研发公司。在这家著名公司开发的工艺中,小液滴的阵列会被置于硅片上。该工艺类似于传统的喷墨工艺,但它是在微观世界进行。这还涉及一种液体,后者不仅需要极其纯净,而且在任何情况下都不能电离化。鉴于这些苛刻的要求,该工艺必须使用高度专业的设备。这里特别重要的就是该工艺中输送液体的液体传输泵。

寻找理想的液体传输泵

由于液体必须做到超纯,而且不能发生电离,因此需要谨慎选择泵的材料。该公司以前使用的泵是由PTFE制成的离心泵。虽然 KNF 提供的隔膜泵在流量和温和传输方面已优于以前的泵,但 KNF 仍致力于使用更洁净和完全无离子的材料。这也是因为佳能纳米技术公司近年来一直在收紧对离子污染的要求。经过广泛的研究,KNF提出使用一种叫做PCTFE的聚合物。KNF此前从未在泵制造中使用过这种材料。

向业界推出一种新材料

当KNF建议利用这种新材料时,佳能纳米技术公司同意进行严格的测试。这极有必要,因为使用这种聚合物在理论上有巨大的好处,但需要在实际运用中中得到证明。佳能纳米技术公司随后对KNF送来的一份材料样本进行了广泛的测试。在对PCTFE样品进行几个月的验证后,新聚合物相对于此前所用的PTFE的优越性变得显而易见。基于这一结果,定制泵的开发过程得以推进。

模块化设计方法加速了开发过程

随着全新材料的获准,KNF在短短6个月内就迅速提供了第一台样机。这一快速开发过程的实现有赖于KNF精心设计的模块化方法。虽然PCTFE是用于液体传输泵的全新材料,但可以通过组合已经过测试并用于其他配置的泵组件(例如电机和阀片)来开发泵的其余部分。这不仅显著缩短了开发时间,而且还为半导体行业提供了一款由预先测试并经过行业验证的组件所组成的可靠泵。

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