用于半导体行业的超洁净传输泵和回收泵

微电子技术已经取得了长足的进步。几十年前的计算机占满整个房间，而且价格不菲，但在计算能力方面，如今它们已被智能手机或平板电脑等日常消费电子产品所超越。这一发展是基于一些技术的进步。半导体的小型化无疑是最重要的一个进步。在半导体行业中，佳能纳米技术公司是高分辨率、低购置成本的纳米压印光刻系统的市场和技术领导者。KNF的特种泵在此发挥了重要作用。

硅片的点胶工艺

这种特殊的压印工艺是由佳能纳米技术公司开发。在此工艺中，小液滴的阵列会被精确地直接置于硅片上。这种点胶工艺与喷墨工艺相似。下一步，一块透明的模板会被直接放置在液体上。由于其优化的粘度，液体随后会填充到玻璃中的毛细管，形成所需的图案。在紫外线的作用下，液体在硅片上固化并保持硬化。与半导体设备的传统光刻工艺相比，该工艺有几个优点。通常，光阻剂被旋转到晶圆上，然后用光罩来创造所需的图案。然而，传统光罩的使用对所生产的纳米结构的尺寸构成了光学限制。另外，旋涂工艺会旋掉99%的光阻剂，因而会造成大量浪费。

当标准传输和回收泵无法胜任时

通过消除旋涂，精心设计和控制液滴阵列的布置，佳能纳米技术公司的工艺需要在系统中输送液体的泵。由于处理液体需要特别的预防措施，而且整个过程要在极其洁净的条件下进行，其间使用的部件需要非常谨慎。对于相关的泵来说，情况尤其如此。总的来说，这个过程有赖于几台泵。在一台传输泵和一台回收泵向分配头输送和返回液体的同时，填充泵和排水泵会向储液罐输送并从中排出液体。

在KNF泵被用于这些任务之前，佳能纳米技术公司依靠的是完全由PTFE制成的离心泵。但它们不仅相当昂贵，而且也不符合特定的性能要求。佳能纳米技术公司不满足于现状，寻找了一个可靠的合作伙伴，以开发一套更符合其需求的泵系统。最终，他们在KNF找到了所想要的结果。这是两家公司之间长期密切关系的起点。

寻找尽可能好的泵材料

在寻找理想的传输泵和回收泵之后，隔膜泵迅速发展成为首选解决方案。这种泵非常可靠，只需极少的维护，还能以非常和缓、清洁和安全的方式输送液体。此外，使用KNF的隔膜泵可以实现该工艺所需的低缓而稳定的流速。而结构紧凑则是另一大优势。

KNF开始寻找理想的泵制造材料。至关重要的一点是，这种材料需要完全不含离子。此外，它必须非常洁净，因为即使20纳米以下的颗粒也会破坏图案。这些极端的要求将选择范围缩小到了PCTFE。虽然其理论上的性能很好，但却不是KNF使用的标准材料。“我们在选择新材料时非常谨慎，”佳能纳米技术公司销售和MARCOM总监Paul Shaver解释说。因此，KNF将材料样品发送到佳能纳米技术公司进行严格的测试，最终使新材料获得了批准。

模块化设计实现快速定制

KNF开发了一个优化的解决方案，使用PCTFE来改进泵头，从而满足佳能纳米技术公司的各项要求。基于KNF隔膜技术的专业知识，KNF 能够确保流体的湿路径也没有电离。KNF明白，一个尺寸无法适合所有应用。我们的解决方案采用独特的模块化设计，这让我们的工程师能够用单独的关键部件来组装每台泵。在从初步想法到最终结果的整个开发过程中，KNF总是与我们的客户紧密合作，为每个具体的应用打造最智慧的解决方案。

新的传输和回收泵可提升可靠性，同时降低成本

定制的KNF传输和回收泵很快就被证明，它们比以前使用的泵更具优势。这些泵提高了洁净度和流速方面的性能，使工艺更加可靠，因而极具成本效益。另一个显著的优势在于，新型泵具有与以往相同（甚至更好）的可靠性。可靠性的提高是一个重要因素，因为该工艺是在极其清洁的条件下进行，从而使维护变得困难、费时，因而成本很高。“最大限度地延长正常运行时间是我们设备的一个关键优势，”Paul Shaver对生产要求进行了总结。对于佳能纳米技术公司的客户来说，这些改善会直接转化为较低的购置成本。  

几十年来，KNF与广泛市场中的领先制造商成功合作，从中获得了专业知识，这使其能够理解并提供满足这些最先进应用所需的组件。我们的KNF专家很乐意回答您关于具体应用的问题。欢迎联系。