반도체 산업을 위한 초청정 공급펌프 및 리턴 펌프

마이크로 일렉트로닉스는 먼 길을 걸어왔습니다. 지난 수십년 전의 컴퓨터들은 방 전체를 가득 채우고 비용도 많이 들었지만 오늘날의 스마트폰이나 태블릿 컴퓨터와 같은 일상적인 가전 제품들이 더 뛰어난 컴퓨터 성능을 가지고 있습니다. 이러한 발전은 많은 기술적 진보에 기반을 두고 있습니다. 반도체의 소형화는 의심할 여지 없는 가장 중요한 것들 중 하나입니다. 반도체 산업에서 캐논 나노테크놀로지스는 고해상도, 저비용의 나노 임프린트 리소그래피 시스템을 위한 시장 및 기술 선도 업체입니다. 여기서 KNF의 특수 펌프가 중요한 역할을 합니다.

실리콘 웨이퍼 디스펜싱 공정

특수 임프린트 공정은 캐논 나노테크놀로지스에서 개발했습니다. 이 공정 중 작은 방울의 액체가 실리콘 웨이퍼 위에 직접 정밀하게 안착됩니다. 이 디스펜싱 공정은 잉크젯 분사 과정과 비교될 수 있습니다. 다음 단계에서 투명한 템플릿이 액체에 직접 안착됩니다. 최적화된 점성으로 인해 액체는 유리의 모세관을 채우고 원하는 패턴을 만듭니다. UV 광선을 사용하면 액체가 경화되고 실리콘 웨이퍼 위에 굳은 상태로 남게됩니다.

반도체 장비에 대한 기존의 리소그래피 공정과 비교할 때 이 공정은 몇 가지 장점을 제공합니다. 일반적으로 포토 레지스트를 웨이퍼 위에서 회전시킨 다음 포토마스크를 사용하여 원하는 패턴을 만듭니다. 하지만 기존의 포토마스크를 사용하면 생성된 나노 구조의 크기에 광학적 한계가 생깁니다. 또한 스핀 코팅 공정은 포토 레지스트의 99% 이상의 많은 낭비를 유발합니다.

표준 공급 및 리턴 펌프가 충분하지 않은 경우

스핀 코팅을 제거하고 액체 방울의 배열을 신중하게 제어하여 배치하는 캐논 나노테크놀로지스의 공정은 시스템내에서 유체를 운반하는 펌프가 필요합니다. 유체를 취급하려면 각별한 주의가 필요하며 전체 공정이 극도로 깨끗한 조건에서 이루어지기 때문에 이 공정에 사용되는 구성품은 많은 주의가 필요합니다. 관련된 펌프에는 특히 그러합니다. 전체적으로 이 공정은 여러 펌프에 의존합니다. 공급 펌프와 리턴 펌프가 유체를 디스펜싱 헤드로 전달하고 회수하는 동안 충전 펌프와 배출 펌프가 유체를 저장 탱크로 전달하고 배출합니다.

KNF 펌프가 이러한 작업에 사용되기 전에 캐논 나노테크놀로지스는 완전히 PTFE로 만들어진 원심 펌프에 의존했습니다. 하지만 이것은 비용이 높을 뿐만 아니라 특정 성능 요구 사항도 충족하지 못했습니다. 캐논 나노테크놀로지스는 자신들의 요구에 더 잘 맞는 펌프 시스템을 개발하기 위해 신뢰할 수 있는 파트너를 물색했습니다. 마침내, 그들은 KNF에서 찾고 있던 것을 발견했습니다. 이것이 두 회사의 오랜 긴밀한 관계의 출발점이었습니다.

최상의 펌프 소재를 찾다

이상적인 공급 펌프와 리턴 펌프를 찾다 보니 다이어프램 펌프가 선택적 솔루션으로 빠르게 발전했습니다. 이 펌프 유형은 매우 안정적이고 유지보수가 최소화되기 때문에 유체를 매우 부드럽고 깨끗하고 안전하게 이동시킵니다. 또한 KNF의 다이어프램 펌프를 사용하면 공정에 필요한 낮지만 일정한 유량을 얻을 수 있습니다. 작은 크기는 또 다른 큰 장점입니다.

KNF는 이상적인 펌프 제작 소재를 찾기 시작했습니다. 가장 중요한 점은 소재에 이온이 완전히 없어야 한다는 점입니다. 또한 20nm 이하의 작은 입자라도 패턴을 파괴할 수 있기 때문에 매우 깨끗해야 했습니다 이러한 극단적인 요구 사항으로 인해 선택의 범위가 PCTFE로 좁혀졌습니다. 서류상으로는 그 특성이 우수했지만, KNF에서 사용하는 표준 재료는 아니었습니다. "우리는 새로운 재료를 선택할 때 매우 신중합니다."라고 캐논 나노테크놀로지스의 영업 및 MARCOM 책임자인 Paul Shaver는 설명합니다. 따라서 KNF는 엄격한 테스트를 위해 재료 샘플을 캐논 나노테크놀로지스로 보냈고, 결과적으로 새로운 재료의 승인을 받았습니다.

모듈식 설계를 통해 신속하게 사용자 정의 가능

KNF는 개선된 펌프 헤드에 PCTFE를 사용하여 캐논 나노테크놀로지스의 요구 사항을 충족하는 최적화된 솔루션을 개발했습니다. KNF의 다이어프램 기술 전문 지식을 바탕으로, KNF는 유체의 습식 경로에도 이온화가 없음을 확인할 수 있었습니다. KNF는 한 개의 크기로 전부 맞출 수 없다는 것을 알고 있습니다. 당사 솔루션의 고유한 모듈식 설계를 통해 엔지니어는 개별 주요 구성품에서 각 펌프를 조립할 수 있습니다. KNF는 초기 아이디어에서 최종 결과에 이르기까지 전체 개발 프로세스 동안 항상 고객과 긴밀하게 협력하여 각 특정 애플리케이션을 위한 가장 뛰어난 솔루션을 개발합니다.

새로운 공급 및 리턴 펌프는 신뢰성을 높이는 동시에 비용을 절감

맞춤형 KNF 공급 및 리턴 펌프는 금방 이전에 사용한 펌프와 비교하여 장점을 입증했습니다. 펌프는 청정도 및 유속 측면에서 성능을 향상시켜 공정의 안정적과 비용 효율성이 향상되었습니다. 또 다른 중요한 장점은 새 펌프가 이전 설계와 동일한(더 좋지는 않더라도) 신뢰성을 제공한다는 점입니다. 공정이 매우 깨끗한 조건에서 이루어지므로 유지 보수가 어렵고 시간과 비용이 많이 들기 때문에 개선된 신뢰성은 중요한 요소입니다. Paul Shaver는 생산 요구 사항에 대해 "가동 시간 최대화는 우리 장비의 주요 이점입니다."라고 요약합니다. 캐논 나노테크놀로지스 고객에게 이러한 이득은 바로 낮은 운영 비용으로 이어집니다.  

다양한 시장에서 주요 제조업체와의 성공적인 협력을 통해 얻은 수십 년 동안 쌓은 전문 지식을 바탕으로 KNF는 이러한 최첨단 애플리케이션을 충족하는 데 필요한 구성품을 이해하고 제공할 수 있습니다. 당사의 KNF 전문가들은 귀하의 특정 애플리케이션에 대한 질문에 적극적으로 답변해 드립니다. 연락 주십시오.