Membran-Gaspumpe N 952
Membran-Gaspumpen von KNF fördern oder verdichten Gase und Dämpfe und erzeugen ein Vakuum, ohne das Mediu...
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01.10.2024
Allgemein
Turbomolekularpumpen setzen auf Membrantechnologie zur Vorvakuumerzeugung
Turbomolekularpumpensysteme benötigen ein hohes Vakuum, um starten und arbeiten zu können. Zu diesem Zweck werden häufig Vorvakuumpumpen mit Membrantechnologie eingesetzt.
Turbomolekularpumpensysteme werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, z. B. in der Massenspektrometrie, der Lecksuche und der Halbleiterherstellung. Diese komplexen Systeme benötigen ein extrem hohes Vakuum, um zu funktionieren, und verwenden Membranpumpen, um diese Werte zu erreichen. Für diese Anwendungen bietet die Membranpumpentechnologie eine Reihe von Vorteilen gegenüber anderen Pumpentypen.
Wie arbeiten Turbomolekularpumpen?
Turbomolekularpumpen verwenden rotierende Turbinenschaufeln aus Metall, um Gasmoleküle zu bewegen. Die Moleküle strömen in die Einlassöffnung der Pumpe, wo sie von den Schaufeln weitergefördert werden. So werden sie komprimiert und treten durch eine Auslassöffnung aus. Turbomolekularpumpen müssen in einem hohen Vakuum arbeiten, um effektiv zu sein. Dafür sind sie häufig auf Vorvakuumpumpen, auch Vorpumpen genannt, angewiesen. Ein hohes Vakuum ist für den Betrieb von Turbomolekularpumpen notwendig, weil deren Schaufeln so schnell rotieren, dass die Luftreibung bei atmosphärischem Druck zu groß wäre.
Turbomolekularpumpen werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt. So sind sie beispielsweise ein wichtiger Bestandteil der Massenspektrometrie, wo sie zur Erzeugung von Hochvakuumatmosphären beitragen, die für präzise Messungen erforderlich sind. Eine ähnliche Funktion erfüllen sie auch in Rasterelektronenmikroskopen, wo Hochvakuumatmosphären für Analysen mit hoher Vergrößerung benötigt werden. Sie werden auch in der Lecksuche und Umweltanalyse sowie in der Halbleiterfertigung eingesetzt, bei denen ein hohes Vakuum erforderlich ist.
Membranpumpen bieten eine Reihe von Vorteilen
Membranpumpen werden häufig als Vorpumpen zur Vakuumerzeugung für Turbomolekularsysteme eingesetzt. Ohne ein ausreichend hohes Vakuum können Turbomolekularpumpen nicht effizient arbeiten. In einigen Fällen können sie überhaupt nicht anlaufen. KNF bietet Membranpumpen mit einem Endvakuum von bis zu 0,5 mbar (abs.) an. Neben der Möglichkeit, das erforderliche Vorvakuum zu erreichen, bieten sie weitere Vorteile gegenüber anderen Pumpentechnologien.
Membranpumpen bieten ein stabiles Vakuumniveau, eine lange Lebensdauer und sind wartungsarm. Sie arbeiten ölfrei, wodurch die Gefahr einer Kontamination des Fördermediums ausgeschlossen ist. KNF Pumpen sind mit bürstenlosen Gleichstrommotoren (BLDC) erhältlich, die einen drehzahlgeregelten und parametrierbaren Betrieb ermöglichen. Dies ist besonders wichtig für Turbomolekularpumpen, die sehr schnell anlaufen müssen, bevor sie auf ihre Betriebsdrehzahl abgebremst werden. Für Anwendungen mit feuchten Gasen können Membranpumpen auch mit Gasballast ausgerüstet werden. KNF Pumpen können in beliebiger Einbaulage montiert werden. Für tragbare Lösungen, die ein geringes Gewicht erfordern, stehen Optionen wie die Baureihe N 84 zur Verfügung.
Große Auswahl an Membranpumpenlösungen
KNF bietet eine Vielzahl von Lösungen für Vorvakuumanwendungen. Mit der N 952 kann ein Behälter schnell evakuiert werden, wobei die optimale Leistung bis zum Endvakuum erhalten bleibt. Sie erreicht ein maximales Vakuum von 1,5 mbar (abs.) bei einer maximalen Förderrate von 36 l/min. Die Membranpumpe ist in einer Vielzahl von Konfigurationen und Motoroptionen, einschließlich digital regelbarer Motoren, erhältlich.
Mit einem maximalen Vakuum von bis zu 0,5 mbar (abs.) und einer maximalen Förderleistung von 13 l/min ist auch die N 813 eine gute Wahl als Vorvakuumpumpe. Sie gewährleistet eine kontaminationsfreie Medienförderung, die eine Rückkontamination nach dem Abschalten verhindert und gleichzeitig eine Kontamination des Mediums durch die Abluft vermeidet. Die N 813 ist auch mit einem regelbaren Motor erhältlich, der die für Vorvakuumpumpen erforderliche Parametrierung ermöglicht.
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